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      PECVD系统

       

      产品简介

      为了降低化学沉积温度,利用了等离子体的活性来促进反应,这种CVD系统称之为等离子体增强型化学气相沉积系统(PECVD),该设备可以根据气体的种类数量、射频功率大小、气体是否需要预热、沉积所需温区随意定制。

       

      主要参数

      型号

      QJ1200-PE60

      QJ1200-PE60Y

      工作温度

      1000

      1000

      升温速率

      10/min

      10/min

      气体预热区

      200mm

      沉积区长度

      200mm

      440mm

      恒温区长度

      100mm

      220mm

      石英管管径

      50/60mm

      50/60/80/100mm

      控温方式

      30PID程序控温

      30PID程序控温

      射频功率

      100/300/500W自匹配

      100/300/500W自匹配

      射频频率

      13.56Mhz

      13.56Mhz

      真空泵抽速

      4L/s

      4L/s

      真空度

      10Pa

      10Pa

      进气种类

      1~4

      1~4

      功率

      220V/4kw

      220V/7kw





       

    客 服 中 心
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